某光电器件生产加工公司企业因晶圆的清洗工艺技术行成含氨废污水,用水量200吨/天。废污一般的水都除氟化物外还具有氟化物和微量分析天价属,加工分值大。当地政府尾气排放标准决定的标准的条件氟化物<5mg/L,氟化物<3mg/L。
污废水 材质及主要来源
晶圆除污废渣(大部分起源):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀制作工序废水处理方法:含少量铜、镍等高价属,pH值动荡大
CMP考虑废水处理工艺:含硅颗粒状及挥发酚
操作新工艺过程
运用"物理化学析出+膜转移+折点氯化"组和制作工艺:
预办理
:加药CaCl2除氟,操纵pH在7.5-8.
反渗透膜控制系统
:取除0.01μm超过粉末物
反浸入果汁
:将高锰酸盐指数原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L之内
折点氯化
:高精度调节氯污泥脱水量,将化学需氧量流量转化为N2
阳离子互换
:保驾护航天价属合格
终结结果
高锰酸盐指数稳定性<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属的含量不超探测限
水使用率达75%
生活污水导致量提高40%