某半导体设备集成电路芯片开发厂在晶圆制造期间中，用硅烷通过硅概念发芽，汽车尾气清洗塔诞生高有机废气浓度含硅焦化废污水。焦化废污水兼具pH跌涨大（2-11）、硅含量的高的基本特征，过去的治理 方式方法易突然出现硅垢闭塞疑问。 焦化废水营养成分及原因 污废水 最主要物质为： 融化性硅酸盐 ：SiO₂溶度达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢腐蚀钠 ：干洗塔酸碱性干洗液留下 顆粒硅 ：纳米技术级SiO₂溶液 痕量砷 ：原材其它杂物带 治疗加工过程程序流程 创新发展进行"两极采和+膜脱水+汽化成果"新工艺： 两级结合 ：用CaO上下调整pH至4-5，转换成硅酸钙析出，硅避开率60%。 五级中合 ：加Na₂CO₃将pH提高自己至9，进每一步沉淀物中已满硅，串联用镁剂除砷。 超滤膜体系 ：0.02μm工业陶瓷膜过滤装置纳米级级硅颗粒物，通量相对稳定在80LMH。 MVR空调蒸发器器 ：溶缩高盐生产废水，凝结出Na₂SO₄副產品，水回收利用率超90%。 最终能够郊果 总硅从1500mg/L降到5mg/L如下 砷含磷量从0.8mg/L高于0.01mg/L 软件无积垢作业少于2年 每人每年利用硝酸钠钠尖晶石约800吨