该厂为89英寸晶圆生产制造线生活设施的超超纯水系统,每晚生成含硅废水处置150吨。废水处置中虽无天价属,但硅分子量高易积灰,且功率电阻率需可达18MΩ·cm才可使用。改变处置制作工艺就没有办法拥有新施行的《光电化学工业水被废水废气准则》(GB39731-2020)特别的废气标准值。
化工废水组分特质
重要空气环境有害特性
:电解质溶液硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(粒度0.1-1μm)
特色要
:TOC<10μg/L,硼含水量<5μg/L
水质检测性
:低导电率(<50μS/cm)但硅有机化合物价值形式僵化
外理加工制作工艺 流量
特色化用到"梯级膜溶合+电去阴离子"整合制作工艺:
微滤预加工处理
:1μm陶瓷厂家膜屏蔽广告大颗粒物硅,通量确保80LMH
化合物交互树酯
:D201大孔不饱和树脂抉择性降解硅酸大分子
三级RO机系统
:第1 段回收并率60%,二、段用到高脱硼膜元器件
EDI电去铁离子
:工作电流导热系数2A/m²,不间断我们要除稳定度阳离子
分光光度计杀菌的
:254nm太阳光的紫外线的线的用药量40mJ/cm²
技术性优点
开放专门阻硅剂(充分胺类结合物),延迟膜破坏寿命3倍
EDI版块的创新流道设计构思,硅避开率提升自己至99.8%
在线播放硅具体检测仪(测定比率0.1-500μg/L)管控精确管控
运动举措
经3、方的检测:
总硅从280mg/L减少为0.05mg/L
硼含锌量从8μg/L降为0.3μg/L
设计回收公司率从原40%上升至68%
膜换新周期公式变长至5年,年运营投入调低35%