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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为89英寸晶圆生产制造线生活设施的超超纯水系统,每晚生成含硅废水处置150吨。废水处置中虽无天价属,但硅分子量高易积灰,且功率电阻率需可达18MΩ·cm才可使用。改变处置制作工艺就没有办法拥有新施行的《光电化学工业水被废水废气准则》(GB39731-2020)特别的废气标准值。 化工废水组分特质 重要空气环境有害特性 :电解质溶液硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(粒度0.1-1μm) 特色要 :TOC<10μg/L,硼含水量<5μg/L 水质检测性 :低导电率(<50μS/cm)但硅有机化合物价值形式僵化 外理加工制作工艺 流量 特色化用到"梯级膜溶合+电去阴离子"整合制作工艺: 微滤预加工处理 :1μm陶瓷厂家膜屏蔽广告大颗粒物硅,通量确保80LMH 化合物交互树酯 :D201大孔不饱和树脂抉择性降解硅酸大分子 三级RO机系统 :第1 段回收并率60%,二、段用到高脱硼膜元器件 EDI电去铁离子 :工作电流导热系数2A/m²,不间断我们要除稳定度阳离子 分光光度计杀菌的 :254nm太阳光的紫外线的线的用药量40mJ/cm² 技术性优点 开放专门阻硅剂(充分胺类结合物),延迟膜破坏寿命3倍 EDI版块的创新流道设计构思,硅避开率提升自己至99.8% 在线播放硅具体检测仪(测定比率0.1-500μg/L)管控精确管控 运动举措 经3、方的检测: 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼含锌量从8μg/L降为0.3μg/L 设计回收公司率从原40%上升至68% 膜换新周期公式变长至5年,年运营投入调低35%

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