半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
工程蓝本
该家产园集聚了十余家半导体芯片对应公司公司厂家,开发日处里本事5000吨,可以处里来于不一样公司公司厂家的交织电镀污废水 。因为各公司公司厂家生产的工艺制作一定的差异大,电镀污废水 有效成分冗杂变化多端,处里难度很大较高。
生产废水营养成分及收入
化工废渣核心是指四种类:高浓硫酸浓度值可挥发的化工废渣(光刻胶、成像液等)、含氟化工废渣(刻蚀环节)和酸碱性化工废渣(冲洗环节)。特殊化组成是指异丙醇、四甲基氢钝化铵等难分解可挥发的物,各种氟化物、化学需氧量等三聚氰胺树脂弄脏物。化工废渣COD振幅大(500-3000mg/L),氟化物浓硫酸浓度值100-500mg/L,化学需氧量50-150mg/L。
清理加工制作工艺 具体步骤
通过"分类别获得+分质补救+多宽度补救"的技术创新摸式:
公司里面分为预加工:含氟废水外理设定搜集并预加工
开发区污水管道等级分类传输操作系统
融合自动调节池均衡性水质监测
有级混泥土沉积的还原自动隐藏物和溶液
有效率生物体反應器(HBR)办理有机物的废水
嗅氧催化被氧化被氧化挥发难溶解有机质物
反融于系统软件完成脱盐除理
紫外光线线灭菌为了保证溢水安会
有点软件设置了线监测技术整体和智能投加整体,克服地表水起伏较大。
最中成果
系统的操作六年来,正确处理功效安全是真的吗。留水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,化学需氧量<5mg/L,总氮<15mg/L,到达地面水Ⅳ类标准化,个部分回收利用于工业区公路绿化及冷却后塔补水保湿,回收利用率不低于30%。今年缩减新鲜度水用约10万吨,为工业区品牌控制成本电费数十万万。